13 Infos zu Corinna Köpernik
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1 Business-Profile
Xing: Corinna KoepernikEntwicklungsingenieurin / Stuttgart / Plasmaätzen, Lithografie, Halbleiterfertigung und Prozessentwicklung, Prozessintegration, Projektleitung / , Institut für Mikroelektronik Stuttgart
1 Besitz
US Micromechanical component and method for producing a...This patent search tool allows you not only to search the PCT database of about 2 million International Applications but also the worldwide patent collections....
2 Bücher zum Namen
Schlussbericht zum Vorhaben BMBF-Projekt ETIK, EUV Projektionsoptik...Schlussbericht zum Vorhaben BMBF-Projekt ETIK, EUV Projektionsoptik für 14nm ... By Corinna Koepernik, Sandra Naasz, Amadeus Belschner, Mathias ...
Verbundprojekt: Hochpräzise Elektronenstrahl-Nanolithographie:...... Abschluss-Bericht ; Laufzeit: Front Cover. Mathias Irmscher, Corinna Koepernik, Bernd Leibold. Inst. für Mikroelektronik, pages.
2 Dokumente
Koepernik, Corinna [WorldCat Identities]Most widely held works by Corinna Koepernik ... Laufzeit: = Diffractive optical elements on large substrates by Corinna Koepernik( )
[PDF] advanced lithography - Free Download PDFbruce W. Smith, Rochester Institute of technology. John L. Sturtevant of texas at Austin. Anthony
5 Webfunde aus dem Netz
Challenges for the Integrated Manufacturing of EUV Maskseuvlsymposium.lbl.gov › pdf › day2Christian Chovino, Jan Hendrik Peters. Advanced Mask Technology Center, Dresden, Germany. Florian Letzkus, Jörg Butschke, Corinna Koepernik. IMS-Chips ...
Absorber stack optimization toward EUV lithography mask blank pilot...SPIE Digital Library Proceedings
EUV mask fabrication with Cr absorber | Semantic ScholarAbsorber stack optimization toward EUV lithography mask blank pilot production · Frank Sobel, Lutz Aschke, +10 authors Corinna Koepernik. SPIE Photomask ...
TECHNICAL PROGRAM. Conferences & Courses February San Jose Marriott...Beam GmbH (Germany); Corinna Köpernik, Institut für Mikroelektronik Stuttgart ...
Scilit | Article - Alternating aperture phase shift mask process...The combination of conductive topcoat ESPACER Z300 and positive tone CAR FEP171 was investigated in detail for the second level patterning of Alternating...
Bedeutung zum Vornamen Corinna
Weiblicher Vorname (Deutsch, Englisch, Französisch): Corinna; Mädchen, Jungfrau; Altgriechisch (Wortzusammensetzung); kore = das Mädchen, die Jungfrau; vom griechischen Namen 'Korinna', der auf das Wort 'kore' (Mädchen, Jungfrau) zurückgeht
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